Tính năng nổi bật:

• Tự động hoàn toàn: từ đo đến phân tích, bao gồm nhận dạng tạp chất và xác định nồng độ

• Độ nhạy cao: phát hiện tạp chất dưới 10⁹ nguyên tử/cm³

• Tương thích với nhiều loại cryostat (buồng làm lạnh)

Chế độ đo đa dạng:

• Quét nhiệt độ (temperature scan)

• Quét tần số (frequency scan)

• Khảo sát chiều sâu (depth profiling)

• Đo C-V, I-V kiểm tra chất lượng mẫu

• Đo mặt cắt bắt giữ (capture cross section)

• Phản hồi điện dung không đổi

• Đo chuyển tiếp dẫn điện (conductance transient)

• Tiêm sáng (optical injection)

• Đo mật độ trạng thái bề mặt trong cấu trúc MOS

Ưu điểm:

• Điều khiển kỹ thuật số và tương tự, vận hành đơn giản

• Phần mềm hỗ trợ toàn diện, thư viện dữ liệu đầy đủ giúp nhận dạng chính xác tạp chất

• Đa năng và linh hoạt, phù hợp cho cả R&D và sản xuất