Ứng dụng:

• Đo lớp màng đơn/lớp phủ đa lớp trên wafer các loại (150/200/300/450 mm)

• Phân tích chiết suất (n) và hệ số hấp thụ (k)

• Phù hợp trong kiểm soát chất lượng sản xuất bán dẫn hoặc nghiên cứu vật liệu mỏng

Tính năng chính:

• Nguồn sáng: Đèn Xenon

• Tự động lấy nét bằng cảm biến khoảng cách Omron

• Detector CCD độ phân giải cao cho phép thu phổ phản xạ nhanh và chính xác

• Bàn đặt mẫu XY tự động hỗ trợ:

  • Đo điểm đơn

  • Đo nhiều điểm (multi-point)

  • Mapping toàn wafer

• Chuyển động Z tự động giúp lấy nét tối ưu

• Điều khiển áp suất: tích hợp hệ thống điều chỉnh khí nén và chân không

• Vận hành theo recipe, tuân thủ khuyến nghị của SEMI (Hiệp hội Công nghiệp Vi điện tử)