Deep Level Spectroscopy (DLS) là gì? Giải pháp đánh giá chất lượng vật liệu bán dẫn

11/08/2026

Deep Level Spectroscopy (DLS) là gì? Giải pháp đánh giá chất lượng vật liệu bán dẫn

Ngay cả khi wafer đáp ứng các yêu cầu về cấu trúc tinh thể, linh kiện vẫn có thể gặp phải các vấn đề như leakage current tăng, carrier lifetime giảm hoặc hiệu suất hoạt động suy giảm. Điều này cho thấy chất lượng vật liệu không chỉ được quyết định bởi cấu trúc tinh thể mà còn bởi các đặc tính điện bên trong vật liệu, vốn không thể đánh giá đầy đủ bằng các phép đo cấu trúc.


Hình 1. Tấm wafer được sử dụng trong đánh giá chất lượng vật liệu.

 

Những thông tin mà phép đo cấu trúc có thể bỏ lỡ


Hình 2. Sơ đồ dải năng lượng minh họa các mức năng lượng khuyết tật (ET) và quá trình dịch chuyển, bắt giữ/phát xạ hạt tải trong vùng cấm của tiếp giáp Kim loại - Bán dẫn.

Các kỹ thuật như X-ray Diffraction (XRD) cho phép đánh giá pha vật liệu, mức độ kết tinh và chất lượng mạng tinh thể. Tuy nhiên, một số bất thường trong vật liệu không thể được phản ánh đầy đủ qua các phép đo này, đặc biệt khi chúng chỉ xuất hiện cục bộ hoặc có mật độ rất thấp. Dù khó quan sát, chúng vẫn có thể tác động đáng kể đến đặc tính điện và độ tin cậy của linh kiện.

Những bất thường này thường hình thành trong quá trình tăng trưởng tinh thể, pha tạp, cấy ion hoặc xử lý nhiệt, tạo ra các tâm bắt giữ hạt tải (carrier traps), làm thay đổi quá trình vận chuyển và tái hợp hạt tải bên trong vật liệu.

 

Deep Level Spectroscopy (DLS) - Bổ sung góc nhìn về đặc tính điện của vật liệu

Deep Level Spectroscopy (DLS) là kỹ thuật được sử dụng để phân tích các tâm khuyết tật trong vật liệu bán dẫn thông qua đặc tính điện của chúng. Phương pháp này giúp xác định vị trí mức năng lượng, mật độ và các đặc tính của tâm bắt giữ hạt tải (carrier traps), từ đó hỗ trợ phân tích nguyên nhân gây suy giảm hiệu suất hoặc độ tin cậy của linh kiện.


Hình 3. Minh họa tín hiệu và nguyên lý hình thành đỉnh phổ trong phép đo DLTS qua quá trình quét nhiệt độ (Temperature scan) và quét tần số (Frequency scan).

 

Các hệ thống DLS của Semilab hỗ trợ phân tích nhiều vật liệu bán dẫn như Si, SiC và GaN, cung cấp dữ liệu bổ sung cho các phép đo cấu trúc. Khi kết hợp với các kỹ thuật như XRD, DLS giúp kỹ sư đánh giá vật liệu toàn diện hơn và hỗ trợ tối ưu hóa quy trình chế tạo.

Hình 4: Thiết bị Deep Level Spectroscopy (DLS) của Semilab.

 

Tư vấn giải pháp và dịch vụ chạy mẫu

Thăng Long Instrument là đơn vị phân phối chính thức các giải pháp đo lường và phân tích vật liệu của Semilab tại Việt Nam.Nếu Quý khách cần tư vấn giải pháp, chạy mẫu hoặc tìm hiểu thêm về hệ thống Deep Level Spectroscopy (DLS), vui lòng liên hệ đội ngũ kỹ sư của Thăng Long Instrument để được hỗ trợ.

Nguồn tham khảo: Semilab - Deep Level Spectroscopy (DLS): https://semilab.com/category/products/deep-level-transient-spectroscopy

 

Cần tư vấn ứng dụng?

Đội ngũ chuyên gia của Thăng Long sẵn sàn hỗ trợ bạn lựa chọn giải pháp phù hợp

Bài viết liên quan

Thông báo
Đóng