Spectroscopic Ellipsometry là gì? Giải pháp đo màng mỏng trong chế tạo bán dẫn

12/08/2026

Spectroscopic Ellipsometry là gì? Giải pháp đo màng mỏng trong chế tạo bán dẫn 

Trong chế tạo bán dẫn, bề mặt wafer có thể trông đồng đều khi quan sát bằng mắt thường, nhưng điều đó chưa đủ để khẳng định lớp màng đã đạt yêu cầu. Chỉ một sai lệch nhỏ về độ dày, chiết suất (n) hoặc hệ số hấp thụ (k) cũng có thể ảnh hưởng đến chất lượng của các bước xử lý tiếp theo.

Vì vậy, các phòng R&D và dây chuyền sản xuất cần những phương pháp đo không phá hủy, độ chính xác cao để đánh giá chất lượng màng mỏng.

Hình 1. Minh họa cấu trúc màng mỏng trên wafer bán dẫn.
Nguồn: N. Smith, SPIE Newsroom (2008).

Spectroscopic Ellipsometry là gì?

Spectroscopic Ellipsometry (SE) là kỹ thuật đo quang học không phá hủy, phân tích sự thay đổi trạng thái phân cực của ánh sáng phản xạ từ bề mặt mẫu để xác định:

  • Độ dày màng mỏng
  • Chiết suất (n)
  • Hệ số hấp thụ (k)
  • Các tính chất quang học khác tùy theo vật liệu và mô hình phân tích
Hình 2. Sơ đồ nguyên lý Ellipsometry.

Nhờ khả năng đo nhanh và chính xác ở cấp độ nanomet, Ellipsometry được ứng dụng rộng rãi trong nghiên cứu, phát triển quy trình và kiểm soát chất lượng trong ngành bán dẫn.

Giải pháp SE-1000 của Semilab

SE-1000 là hệ thống Spectroscopic Ellipsometry của Semilab, hỗ trợ đo và phân tích nhiều loại màng mỏng như photoresist, SiO2 và cùng nhiều vật liệu khác. Bên cạnh việc xác định độ dày và các tính chất quang học của lớp màng, thiết bị còn cho phép đo tại nhiều vị trí trên wafer để đánh giá độ đồng đều của lớp màng trên toàn bộ bề mặt.

Hình 3. Hệ thống Spectroscopic Ellipsometry của Semilab.

Tư vấn giải pháp và dịch vụ chạy mẫu

Thăng Long Instrument là đơn vị phân phối chính thức các giải pháp đo lường và phân tích vật liệu của Semilab tại Việt Nam.

Nếu Quý khách cần tư vấn giải pháp, chạy mẫu hoặc tìm hiểu thêm về công nghệ Spectroscopic Ellipsometry, vui lòng liên hệ đội ngũ kỹ sư của Thăng Long Instrument để được hỗ trợ.

Nguồn tham khảo: 

Cần tư vấn ứng dụng?

Đội ngũ chuyên gia của Thăng Long sẵn sàn hỗ trợ bạn lựa chọn giải pháp phù hợp

Bài viết liên quan

Thông báo
Đóng