Tính năng nổi bật:

• Thiết kế dạng mô-đun, dễ nâng cấp

• Goniometer thủ công và định vị mẫu thủ công, tối ưu cho phòng thí nghiệm

• Sử dụng điện tử thế hệ mới của Semilab với các mô-đun có thể thay thế

• Kết nối điều khiển qua LAN hoặc bảng điều khiển cảm ứng, tương thích PC/laptop

• Tích hợp phần mềm phân tích thế hệ mới: SAM / SEA

Các chế độ đo:

• Spectroscopic Ellipsometry với bộ bù quay (rotating compensator)

• Ellipsometry tổng quát (Generalized) cho vật liệu dị hướng

• Ma trận Mueller (11 hệ số)

• Ma trận Jones

• Porosimetry: đo độ xốp và phân bố kích thước lỗ rỗng trong màng mỏng

• In-situ mode: đo thời gian thực trong quá trình lắng đọng hoặc khắc

Tùy chọn mở rộng:

• Microspot (đo điểm nhỏ)

• Mở rộng quang phổ đến vùng cận hồng ngoại (NIR)

• Porosimetry màng mỏng trong điều kiện môi trường

• Buồng đo mẫu dạng lỏng, có chức năng làm nóng/làm lạnh

• Camera quan sát

• Kết hợp với Spectroscopic Reflectometer