Tính năng nổi bật:

• Hỗ trợ cấu hình đo:

  • Tốc độ cao: dùng spectrograph + detector array

  • Độ phân giải cao: dùng spectrometer + single-point detector

  • Kết hợp cả hai trên cùng một thiết bị

• Tùy chọn đầu đo FTIR ellipsometry tích hợp cùng goniometer hiện có

• Thiết kế mô-đun điện tử thông minh, dễ thay thế linh kiện

• Giao diện điều khiển qua PC, laptop (LAN) hoặc màn hình cảm ứng

• Vận hành với phần mềm thế hệ mới SAM / SEA

Chế độ đo:

• Spectroscopic Ellipsometry: đo độ dày, hằng số quang học, lớp đa lớp phức tạp

• Generalized Ellipsometry: vật liệu dị hướng

• Transmission Ellipsometry: vật liệu nền trong suốt

• Scatterometry: theo bước sóng và góc tới

• Ma trận Mueller (11 hoặc 16 phần tử) – hỗ trợ kết hợp với scatterometry cho vật liệu dị hướng 3D

• Ma trận Jones: dị hướng đơn giản

• Phản xạ & truyền qua: theo bước sóng và góc

• Polarimetry

• Porosimetry: đo độ xốp và phân bố kích thước lỗ

• In-situ mode: đo thời gian thực khi lắng đọng hoặc khắc lớp

Tùy chọn mở rộng:

• Bàn định vị đa trục (X, Y, Z, xoay) – thủ công hoặc tự động

• Microspot (chuẩn hoặc cực nhỏ – có thể tuỳ chỉnh)

• Buồng môi trường: cryostat, buồng chất lỏng, buồng làm lạnh/làm nóng, buồng QCM

• Buồng porosimetry trong môi trường khí

• Camera quan sát

• Spectroscopic Reflectometer

• Mở rộng dải quang phổ

• Tích hợp các công nghệ đo khác của Semilab (4-point probe, Eddy current…)