Tính năng nổi bật:

• Xử lý wafer thủ công (tối đa 200 mm)

• Có khả năng mapping toàn wafer

• Hiển thị bản đồ màu (topogram) điện trở

• Đặt mẫu bán tự động bằng khí nén

• Phần mềm điều khiển đo dễ sử dụng

Ứng dụng:

• Đo điện trở suất cho các vật liệu bán dẫn hợp chất như: GaAs, SiC, GaN, CdTe, InP

• Dải đo rộng: 1×10⁵ – 1×10¹² Ω·cm

• Phù hợp cho kiểm tra chất lượng bán dẫn trong quá trình sản xuất

Lợi ích:

• Không tiếp xúc, không phá hủy bề mặt wafer

• Đánh giá nhanh, không cần hiệu chuẩn

• Độ lặp lại cao, đảm bảo độ tin cậy cho QA

• Hữu ích trong kiểm soát độ đồng nhất điện trở và độ linh động nhằm tối ưu hóa quy trình