Thông số đo được:

• Nồng độ tạp chất (dopant) và điện trở suất

• Mật độ hạt tải và hình dạng phân bố điện trở

• Độ sâu tiếp giáp (junction depth)

• Độ rộng vùng chuyển tiếp

• Điện trở tấm (sheet resistance)

• Liều lượng tạp chất kích hoạt điện

• Đo góc nghiêng mẫu (Bevel Angle Measurement – BAM)

Tính năng nổi bật:

• Phạm vi đo siêu rộng, phù hợp nhiều ứng dụng linh hoạt

• Độ phân giải cao, không bị chồng lấn giữa các vùng đo

• Tính toán chính xác vùng chuyển tiếp và độ sâu tiếp giáp

• Tích hợp đo góc nghiêng mẫu ngay trong quá trình đo (In-situ BAM)

• Bàn đo siêu chính xác, độ nhiễu thấp

• Cách âm và chống rung hiệu quả trong buồng đo

• Giao diện người dùng cảm ứng, phần mềm điều khiển thân thiện và dễ vận hành