Ứng dụng tiêu biểu:

• Nghiên cứu phát triển và đặc trưng kỹ thuật

• Kiểm tra lô sản xuất

• Phân tích sự cố trong dây chuyền sản xuất

Kỹ thuật đo tích hợp (tùy chọn theo nhu cầu):

1. µ-PCD / Thời gian sống hạt tải (Carrier Lifetime)

• Đo thời gian sống hạt tải

• Hỗ trợ mapping độ phân giải cao và đo điểm riêng lẻ

2. SHR / Điện trở tấm (Sheet Resistance)

• Đo điện trở tấm vùng phát xạ

• Mapping & đo điểm

3. LBIC / Phản ứng quang điện, hiệu suất lượng tử, chiều dài khuếch tán

• Dùng 1 đến 4 laser, mapping độ phân giải cao

• Đo các thông số:

  • Dòng ngắn mạch (Isc)

  • Phản xạ trực tiếp và tán xạ

  • IQE / EQE

  • Chiều dài khuếch tán

4. Eddy Current Resistivity

• Đo điện trở suất không tiếp xúc

• Hỗ trợ nhiều loại đầu dò cho các dải điện trở khác nhau

5. Bias light cho µ-PCD

• Kết hợp nguồn sáng bias để nâng cao độ chính xác khi đo carrier lifetime